無論是(shì)實驗室通用型還是(shì)用于(yú)集成電路結構和(hé / huò)尺寸測量的(de)專用設備，SEM的(de)基本工作原理基本一(yī / yì ／yí)緻。SEM之(zhī)所以(yǐ)得名，是(shì)因爲(wéi / wèi)它利用細聚焦的(de)電子(zǐ)束，以(yǐ)精确的(de)光栅掃描模式（通常爲(wéi / wèi)矩形或正方形）逐點掃描樣品表面。

SEM的(de)電子(zǐ)束來(lái)自電子(zǐ)源，通常在(zài)0.2千伏到(dào)30千伏的(de)加速電壓下運行。在(zài)半導體生産中，CD-SEM多在(zài)0.4千伏至1千伏的(de)電壓範圍内工作。電子(zǐ)束沿鏡筒向下，通過一(yī / yì ／yí)個(gè)或多個(gè)電子(zǐ)光學聚光鏡被縮小，其直徑從幾微米逐漸收縮到(dào)納米量級。

作者：孫千 本文轉載自公衆号：老千和(hé / huò)他(tā)的(de)朋友們。原文地(dì / de)址：https://mp.weixin.qq.com/s/tp4Kp5kogCBN43bjx7JT0A 四維掃描透射電鏡（4D-STEM）是(shì)一(yī / yì ／yí)種通過聚焦電子(zǐ)束在(zài)電子(zǐ)透明樣品上(shàng)掃描，同時(shí)收集實空間和(hé / huò)倒易空間的(de)二維圖像的(de)技術。這(zhè)種方法産生四維數據集，因此得名4D-STEM。 需要(yào / yāo)明确的(de)是(shì)，這(zhè)裏的(de)維度并不(bù)涉及時(shí)間；而(ér)是(shì)指所得四維數據集包含空間和(hé / huò)衍射信息。具體來(lái)說(shuō)，兩個(gè)維度代表樣品中的(de)x和(hé / huò)y坐标（實空間位置），而(ér)另外兩個(gè)維度代表每個(gè)位置處的(de)衍射圖案中的(de)kx和(hé / huò)ky坐标（倒易空間）。...

掃描電鏡(SEM)自問世以(yǐ)來(lái)，已成爲(wéi / wèi)材料科學、生物學等領域不(bù)可或缺的(de)研究工具。然而(ér)，常規掃描電鏡(CSEM)在(zài)樣品制備及成像方面存在(zài)明顯局限：需要(yào / yāo)高真空環境、樣品必須導電或經過導電處理（低電壓成像可不(bù)鍍導電膜），且必須處于(yú)幹燥狀态。這(zhè)些限制極大(dà)地(dì / de)約束了(le／liǎo)其在(zài)某些領域的(de)應用潛力，特别是(shì)對于(yú)濕态樣品或絕緣材料的(de)研究。

環境掃描電鏡(ESEM)技術的(de)出(chū)現，爲(wéi / wèi)克服這(zhè)些限制提供了(le／liǎo)新的(de)解決方案。

TEM樣品制備技術對比

掃描電子(zǐ)顯微鏡（SEM）的(de)分辨率是(shì)其核心性能參數之(zhī)一(yī / yì ／yí)，傳統定義是(shì)指能夠區分兩個(gè)相鄰物體的(de)最小距離，但該定義在(zài)實際場景中較爲(wéi / wèi)模糊，不(bù)同儀器制造商甚至采用不(bù)同的(de)計算标準。這(zhè)一(yī / yì ／yí)概念可能指成像或空間分辨率，通常用來(lái)衡量樣品細節的(de)清晰度，例如微小間隙的(de)分辨能力或圖像的(de)銳利程度——這(zhè)與樣品邊緣信号轉換的(de)變化率密切相關。同時(shí)，它也(yě)可能指測量分辨率，即定量區分樣品特征或測量特性的(de)能力，強調測量精度/重複性。