離子(zǐ)濺射儀的(de)常見問題和(hé / huò)故障排除

沒有鍍膜或鍍膜很薄：

• • • 檢查氩氣傳輸管線和(hé / huò)壓力。
    • 确認靶材安裝正确且未耗盡。
    • 确保靶材的(de)電氣連接良好。
    • 檢查真空室的(de)真空度。

鍍膜不(bù)均勻：

• • • 确保樣品旋轉和(hé / huò)/或傾斜功能正常。
    • 檢查靶材到(dào)樣品的(de)距離。
    • 确認樣品表面清潔無污染物。

樣品過熱：

• • • 降低濺射功率（電流或電壓）。
    • 縮短濺射時(shí)間。
    • 确保磁控濺射頭中的(de)磁體功能正常（如果适用）。

鍍膜後圖像質量差（如仍存在(zài)充電現象）：

• • • 稍微增加鍍膜厚度。
    • 使用導電膠帶或膠水确保樣品與樣品台之(zhī)間的(de)良好電氣接觸。
    • 考慮使用導電性更高的(de)其他(tā)鍍膜材料。

靶材不(bù)濺射：

• • • 檢查濺射頭的(de)高壓電源。
    • 确保真空度合适。
    • 清潔靶材表面。

污染問題：

• • 徹底清潔濺射室。
  • 使用高純度氩氣。
  • 檢查真空泵是(shì)否發生油反流。