關鍵尺寸掃描電鏡（CD-SEM）技術解讀
無論是(shì)實驗室通用型還是(shì)用于(yú)集成電路結構和(hé / huò)尺寸測量的(de)專用設備，SEM的(de)基本工作原理基本一(yī / yì ／yí)緻。SEM之(zhī)所以(yǐ)得名，是(shì)因爲(wéi / wèi)它利用細聚焦的(de)電子(zǐ)束，以(yǐ)精确的(de)光栅掃描模式（通常爲(wéi / wèi)矩形或正方形）逐點掃描樣品表面。
SEM的(de)電子(zǐ)束來(lái)自電子(zǐ)源，通常在(zài)0.2千伏到(dào)30千伏的(de)加速電壓下運行。在(zài)半導體生産中，CD-SEM多在(zài)0.4千伏至1千伏的(de)電壓範圍内工作。電子(zǐ)束沿鏡筒向下，通過一(yī / yì ／yí)個(gè)或多個(gè)電子(zǐ)光學聚光鏡被縮小，其直徑從幾微米逐漸收縮到(dào)納米量級。
在(zài)SEM中實現4D-STEM及其晶體學應用
作者：孫千 本文轉載自公衆号：老千和(hé / huò)他(tā)的(de)朋友們。原文地(dì / de)址：https://mp.weixin.qq.com/s/tp4Kp5kogCBN43bjx7JT0A 四維掃描透射電鏡（4D-STEM）是(shì)一(yī / yì ／yí)種通過聚焦電子(zǐ)束在(zài)電子(zǐ)透明樣品上(shàng)掃描，同時(shí)收集實空間和(hé / huò)倒易空間的(de)二維圖像的(de)技術。這(zhè)種方法産生四維數據集，因此得名4D-STEM。 需要(yào / yāo)明确的(de)是(shì)，這(zhè)裏的(de)維度并不(bù)涉及時(shí)間；而(ér)是(shì)指所得四維數據集包含空間和(hé / huò)衍射信息。具體來(lái)說(shuō)，兩個(gè)維度代表樣品中的(de)x和(hé / huò)y坐标（實空間位置），而(ér)另外兩個(gè)維度代表每個(gè)位置處的(de)衍射圖案中的(de)kx和(hé / huò)ky坐标（倒易空間）。...
環境掃描電鏡（ESEM）成像技術解讀
掃描電鏡(SEM)自問世以(yǐ)來(lái)，已成爲(wéi / wèi)材料科學、生物學等領域不(bù)可或缺的(de)研究工具。然而(ér)，常規掃描電鏡(CSEM)在(zài)樣品制備及成像方面存在(zài)明顯局限：需要(yào / yāo)高真空環境、樣品必須導電或經過導電處理（低電壓成像可不(bù)鍍導電膜），且必須處于(yú)幹燥狀态。這(zhè)些限制極大(dà)地(dì / de)約束了(le／liǎo)其在(zài)某些領域的(de)應用潛力，特别是(shì)對于(yú)濕态樣品或絕緣材料的(de)研究。
環境掃描電鏡(ESEM)技術的(de)出(chū)現，爲(wéi / wèi)克服這(zhè)些限制提供了(le／liǎo)新的(de)解決方案。
TEM樣品制備技術對比
TEM樣品制備技術對比
掃描電鏡的(de)分辨率和(hé / huò)測量标準化問題讨論
掃描電子(zǐ)顯微鏡（SEM）的(de)分辨率是(shì)其核心性能參數之(zhī)一(yī / yì ／yí)，傳統定義是(shì)指能夠區分兩個(gè)相鄰物體的(de)最小距離，但該定義在(zài)實際場景中較爲(wéi / wèi)模糊，不(bù)同儀器制造商甚至采用不(bù)同的(de)計算标準。這(zhè)一(yī / yì ／yí)概念可能指成像或空間分辨率，通常用來(lái)衡量樣品細節的(de)清晰度，例如微小間隙的(de)分辨能力或圖像的(de)銳利程度——這(zhè)與樣品邊緣信号轉換的(de)變化率密切相關。同時(shí)，它也(yě)可能指測量分辨率，即定量區分樣品特征或測量特性的(de)能力，強調測量精度/重複性。
透射電鏡樣品制備技術指南：材料科學篇
使用透射電鏡（TEM）的(de)第一(yī / yì ／yí)步是(shì)樣品制備，這(zhè)步驟是(shì)确保獲得有價值TEM結果的(de)重中之(zhī)重。制備的(de)TEM樣品一(yī / yì ／yí)般需滿足以(yǐ)下幾個(gè)基本要(yào / yāo)求：
1. 保持樣品的(de)原始結構：盡量減少人(rén)工痕迹，即使引入也(yě)必須可識别；
2. 盡可能薄：樣品厚度至少需小于(yú)100納米，确保電子(zǐ)束能夠穿透；
3. 具備物理支撐：以(yǐ)利于(yú)樣品架的(de)裝載和(hé / huò)取出(chū)；
4. 具備機械穩定性：避免因震動導緻圖像缺陷；
5. 樣品需脫水或冷凍：以(yǐ)減輕在(zài)真空環境下的(de)蒸氣或氣體釋放；
6. 最好具有導電性：避免充電效應帶來(lái)的(de)損傷；
7. 表面需清潔：最大(dà)限度減少污染。
如何制備透射電鏡（80-120kV）生物樣品？
與幹燥和(hé / huò)濃縮的(de)材料樣品不(bù)同，大(dà)多數生物樣品都是(shì)含水的(de)或水合的(de)，含有大(dà)量的(de)水分。它們質地(dì / de)柔軟，由H、C、N、O、S和(hé / huò)P等輕元素組成，且不(bù)具有導電性。因此，生物樣品的(de)制備需要(yào / yāo)多個(gè)步驟才能獲得TEM樣品。生物樣品通常包括顆粒樣品以(yǐ)及細胞和(hé / huò)組織樣品。
各品牌離子(zǐ)濺射儀靶材尺寸表
環形濺射靶選型表 品牌 型号 尺寸 Anatech / Technics Hummer V / VI / 6.2 / 8 3” O.D. X 2” I.D Polaron / Biorad E5100 / E5150 / E5175 / SC510 / SC515 82mm O.D. X 60mm I.D Polaron / Quorum SC7640 / SC7680 82mm O.D. X 60mm I.D Polaron 鍍膜儀也(yě)以(yǐ) Bio-Rad、Fisons、VG Microtech、Thermo VG、Emscope...
我國(guó)科學家研發新型便攜式葉片氣孔表型檢測技術
近日，華中農業大(dà)學作物遺傳改良國(guó)家重點實驗室作物表型團隊教授楊萬能課題組研發了(le／liǎo)一(yī / yì ／yí)種葉片氣孔表型測量新技術
2019年全國(guó)電子(zǐ)顯微學學術年會在(zài)合肥成功舉辦
2019年10月16日，由中國(guó)電子(zǐ)顯微鏡學會主辦的(de)“2019年全國(guó)電子(zǐ)顯微學學術年會”在(zài)合肥市豐大(dà)國(guó)際酒店盛大(dà)開幕。大(dà)會爲(wéi / wèi)期3天，10個(gè)分會場，吸引了(le／liǎo)來(lái)自大(dà)專院校、科研院所、企業等電子(zǐ)顯微鏡學領域專家學者一(yī / yì ／yí)千多人(rén)出(chū)席，爲(wéi / wèi)中國(guó)電鏡人(rén)帶來(lái)一(yī / yì ／yí)場學術盛宴。
