半導體制樣設備

Ted Pella在(zài)2021年收購了(le／liǎo)專業劃片裂片設備生産廠商LatticeGear公司，把它旗下的(de)劃片裂片相關設備LatticeAx及FlipScribe等暢銷設備并入了(le／liǎo)自己的(de)産品線中，配合Ted Pella多年在(zài)相關領域的(de)硬實力，現在(zài)Ted Pella能爲(wéi / wèi)衆多半導體廠商及科研機構提供更專業的(de)半導體制樣服務。廣州競赢作爲(wéi / wèi)Ted Pella在(zài)中國(guó)的(de)總代理，現在(zài)也(yě)能爲(wéi / wèi)客戶提供專業的(de)半導體制樣解決方案。

LatticeAx系列劃片機采用了(le／liǎo)容易控制的(de)“解理切割”，使得切割過程更爲(wéi / wèi)精準，減少了(le／liǎo)切割誤差。它不(bù)需要(yào / yāo)劃線，是(shì)在(zài)晶圓表面用金剛石壓頭壓一(yī / yì ／yí)條長度小于(yú)1mm、寬度約10um的(de)淺壓痕，然後沿着壓痕進行解理，這(zhè)樣不(bù)僅可以(yǐ)最大(dà)程度地(dì / de)保存樣品的(de)原始結構，還可以(yǐ)避免晶圓在(zài)切割過程中産生的(de)不(bù)必要(yào / yāo)損傷。采用晶面解理方式，能夠得到(dào)更爲(wéi / wèi)理想的(de)切口，斷面更光滑，有利于(yú)後續的(de)觀察和(hé / huò)使用。

FlipScribe的(de)劃線器安裝在(zài)背闆，可以(yǐ)準确地(dì / de)從正面定位劃線位置，消除了(le／liǎo)在(zài)劃線過程中對敏感正面器件的(de)污染，對晶體和(hé / huò)無定形樣品特别有價值。同時(shí)金剛石劃線器的(de)傾斜和(hé / huò)高度是(shì)可調的(de)，這(zhè)是(shì)優化沿光刻與晶面制備樣品的(de)工藝的(de)關鍵。