JYSC-1000鍍膜儀（離子(zǐ)濺射儀）

描述

此款JYSC-1000型小型磁控離子(zǐ)濺射儀主要(yào / yāo)用于(yú)SEM制樣樣品鍍導電膜（如金膜）或材料鍍膜，儀器性能穩定，操作簡單方便。采用磁控冷态濺射，基本不(bù)升溫，保護樣品。

主要(yào / yāo)特點：

• 真空泵連接管路爲(wéi / wèi)金屬波紋管，美觀耐用；
• 微調閥調節靈敏準确，帶有刻度标識；
• 真空泵抽速快，噪音低，适合實驗室使用；
• 控制電路爲(wéi / wèi)控制闆，工作穩定可靠；
• 磁控冷态濺射，基本不(bù)升溫，保護樣品；

技術參數：

1. 真空室：Φ150mm,高度110mm;
2. 試樣台尺寸：Φ60mm,
3. 金靶尺寸：Φ50mm;
4. 真空系統：抽速8m³/h；
5. 真空檢測：定制皮氏計，配合真空指針表，靈敏可靠；
6. 排氣方式：自動；
7. 濺射時(shí)間：0－1000秒可連續設置。
8. 真空室工作氣體：空氣或氩氣，配有氩氣專用進氣口和(hé / huò)微量充氣節；
9. 可使用多種金屬靶材：Au，Au/Pd，Pt，Pt/Pd，Cu，Ag等，靶材更換快速方便
10. 主機尺寸：約450×330×235mm