描述
PELCO® LatticeAx® 225精密晶圓劃片裂片切割機，原爲(wéi / wèi)LatticeGear™的(de)産品，是(shì)LatticeAx® 120的(de)升級版，它增加了(le／liǎo)高倍數成像功能的(de)設備，使得壓頭定位更精準，從而(ér)提升劃片的(de)精度。适用于(yú)實驗室的(de)精密化工作。
PELCO® LatticeAx 225可以(yǐ)提供20μm的(de)定位精度，經過培訓的(de)使用者可以(yǐ)在(zài)大(dà)約5分鍾内完成高質量的(de)晶圓劃片，可處理各種尺寸、厚度的(de)樣品和(hé / huò)多種材料類型。它具備了(le／liǎo)手工劃片的(de)基本元素，同時(shí)解決了(le／liǎo)手工劃片的(de)精準性不(bù)高、可重複性差等缺點。
LatticeAx采用了(le／liǎo)容易控制的(de)“解理切割”，使得切割過程更爲(wéi / wèi)精準，減少了(le／liǎo)切割誤差。它不(bù)需要(yào / yāo)劃線，是(shì)在(zài)晶圓表面用金剛石壓頭壓一(yī / yì ／yí)條長度小于(yú)1mm、寬度約10um的(de)淺壓痕，然後沿着壓痕進行解理，這(zhè)樣不(bù)僅可以(yǐ)最大(dà)程度地(dì / de)保存樣品的(de)原始結構，還可以(yǐ)避免晶圓在(zài)切割過程中産生的(de)不(bù)必要(yào / yāo)損傷。采用晶面解理方式，能夠得到(dào)更爲(wéi / wèi)理想的(de)切口，斷面更光滑，有利于(yú)後續的(de)觀察和(hé / huò)使用。
其成像組件包括聚焦支架、帶偏光鏡的(de)數碼顯微鏡,以(yǐ)及實時(shí)圖像采集和(hé / huò)顯示軟件。通過實時(shí)成像，可以(yǐ)使用戶輕松實現壓痕精準定位，讓所有經過培訓的(de)用戶都可以(yǐ)輕松快速地(dì / de)完成劃片工作。LatticeAx 225可适用于(yú)各種尺寸、厚度和(hé / huò)不(bù)同材料類型的(de)樣品。
産品特點：
- 劃片精度±20微米
- 堅固的(de)工作站平台，專爲(wéi / wèi)劃片和(hé / huò)裂片而(ér)設計
- 帶有實時(shí)數字成像接口的(de)USB2數字顯微鏡（不(bù)包括電腦和(hé / huò)顯示器）
- 顯微鏡支架，帶精細聚焦控制
- 帶氣動閥門開關的(de)真空泵，用于(yú)固定樣品
- 快速劃片
- 可重複性高
