描述
Pelcotec™ CDMS-XY 标樣是(shì)一(yī / yì ／yí)種用于(yú)掃描電鏡、場發射掃描電鏡、離子(zǐ)束雕刻、CD-SEM、激光掃描顯微鏡和(hé / huò)原子(zǐ)力顯微鏡快速、精确校準的(de)便捷工具。該标樣提供了(le／liǎo) X 和(hé / huò) Y 兩個(gè)坐标軸的(de)比例尺線，可在(zài)不(bù)旋轉樣品台的(de)情況下輕松進行二維校準。
Pelcotec™ CDMS-XY 标樣使用最新的(de)半導體和(hé / huò)微電子(zǐ)制造技術制成，具有卓越的(de)線緣質量，可提供廣泛的(de)測量範圍。
該标樣有兩種特征尺寸範圍可選，分别是(shì) Pelcotec™ CDMS-XY-1T 和(hé / huò) Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ，每個(gè)尺寸範圍都提供可追溯和(hé / huò)認證标樣，總共有四種：
Pelcotec™ CDMS-XY-1T ：特征尺寸範圍爲(wéi / wèi) 2.0mm 到(dào) 1um，适用于(yú)放大(dà)倍率在(zài) 10x – 20,000x 之(zhī)間的(de)台式掃描電鏡和(hé / huò)低到(dào)中等放大(dà)應用。
| 産品編号 | 描述 | 單位 |
|---|---|---|
| 684-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-1T ，2mm – 1µm，可追溯，沒有樣品座 | 個(gè) |
Pelcotec™ CDMS-XY-1C ：每個(gè)标樣均根據 NIST 标準進行了(le／liǎo)單獨認證，特征尺寸範圍爲(wéi / wèi) 2.0mm 到(dào) 1µm，适用于(yú)放大(dà)倍率在(zài) 10x – 20,000x 之(zhī)間的(de)台式掃描電鏡和(hé / huò)低到(dào)中等放大(dà)應用。
| 産品編号 | 描述 | 單位 |
|---|---|---|
| 689-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-1C ，2mm – 1µm，已認證，沒有樣品座 | 個(gè) |
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ：特征尺寸範圍爲(wéi / wèi) 2.0mm 到(dào) 100nm，适用于(yú)所有掃描電鏡和(hé / huò)大(dà)多數場發射掃描電鏡應用，放大(dà)倍率可達 10 – 200,000x。
| 産品編号 | 描述 | 單位 |
|---|---|---|
| 685-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ，2mm – 100nm，可溯源，沒有樣品座 | 個(gè) |
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C ：每個(gè)标樣均根據 NIST 标準進行了(le／liǎo)單獨認證，特征尺寸範圍爲(wéi / wèi) 2.0mm 到(dào) 100nm，适用于(yú)所有掃描電鏡和(hé / huò)大(dà)多數場發射掃描電鏡應用，放大(dà)倍率可達 10 – 200,000x。
| 産品編号 | 描述 | 單位 |
|---|---|---|
| 690-01 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C ，2mm – 100nm，已認證，沒有樣品座 | 個(gè) |
該标樣的(de)特征尺寸範圍見下表：
Pelcotec™ CDMS-XY-1T 和(hé / huò) -1C 的(de)特征尺寸爲(wéi / wèi)：
2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50µm、10µm、5µm、2µm 和(hé / huò) 1µm。
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T 和(hé / huò) 0.1C 的(de)特征尺寸爲(wéi / wèi)：
2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50µm、10µm、5µm、2µm 和(hé / huò) 1µm、500nm、250nm 和(hé / huò) 100nm。
可選的(de)預先安裝在(zài)樣品座上(shàng)。
| Pelcotec™ CDMS-XY-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1 | |
| 基底尺寸：2.5×2.5mm | ✓ | ✓ |
| 基底厚度：525±10μm | ✓ | ✓ |
| 唯一(yī / yì ／yí)序列識别号 | ✓ | ✓ |
| 2mm、1mm、0.5mm 的(de)校準方塊 | ✓ | ✓ |
| 垂直于(yú) X 軸和(hé / huò) Y 軸的(de)刻度線，間距爲(wéi / wèi) 10um、5μm、2μm 和(hé / huò) 1μm | ✓ | ✓ |
| 僅限高分辨率版本 – 垂直于(yú) X 和(hé / huò) Y 軸的(de)附加刻度線以(yǐ) 500、250 和(hé / huò) 100 nm 節距标出(chū) | — | ✓ |
| 特征材料：50nm Cr (2mm – 5µm) | ✓ | ✓ |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（2μm 和(hé / huò) 1μm） | ✓ | ✓ |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（500、250 和(hé / huò) 100nm） | — | ✓ |
| 可在(zài)晶圓級追溯到(dào) NIST | T 版本 | T 版本 |
| CDMS 标樣直接獲得 NIST 标準認證 | C版本 | C版本 |
| 不(bù)含樣品台 | ✓ | ✓ |
| 可安裝于(yú)SEM樣品台 | ✓ | ✓ |
| 精度優于(yú)0.3% | ✓ | ✓ |
