描述
JY-S100PLUS 是(shì)一(yī / yì ／yí)款桌上(shàng)型冷态磁控濺射鍍膜系統，标配旋轉傾斜樣品台，特别适用于(yú)各種表面形貌的(de)非導電樣品在(zài)掃描電鏡成像中的(de)高質量鍍膜，也(yě)可滿足電極鍍膜，半導體等材料鍍膜的(de)要(yào / yāo)求。
主要(yào / yāo)特性
- 通過新型高效低壓直流磁控頭進行“超冷”濺射，避免樣品表面受損；
- 對于(yú)近距離的(de)樣品，新型磁控管設計可提供廣角覆蓋濺射；
- 用于(yú)洩氣、吹掃和(hé / huò)排氣的(de)獨立電磁閥設計，确保設備的(de)快速運行；
- 噴鍍電流控制不(bù)受樣品室内氣壓影響，可得到(dào)一(yī / yì ／yí)緻的(de)鍍膜速率和(hé / huò)最佳的(de)鍍膜效果。
- 可使用多種金屬靶材：Pt, Au, Au/Pd, Pt/Pd（Pt 靶爲(wéi / wèi)标配），靶材更換快速方便。
技術參數
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濺射系統 |
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| 靶材 | Pt 靶爲(wéi / wèi)标配，可選 Au，直徑 57mm x 0.1mm 厚 |
| 标配旋轉傾斜樣品台 | 旋轉速度：0~60rpm 連續可調，傾斜角度：-45°~ 45°連續可調；
不(bù)鏽鋼腔體：直徑 120mm X 高 75mm； 觀察窗：直徑 120mm X 高 45mm； 标配旋轉台直徑 40mm，可放 4 個(gè)标準樣品台，其它規格可訂做；具有雙重鎖緊裝置，可确保樣品在(zài)旋轉傾斜時(shí)不(bù)會松動脫落。 |
| 濺射電流 | 微處理器控制，安全互鎖，電流 5~40mA |
| 濺射頭 | 新型低電壓磁控管設計，靶材更換快速，環繞暗區護罩 |
| 計量表 | 真空： Atm ~3pa，電流：0~99mA |
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控制方法 |
帶有“開始”“暫停”按鈕的(de)微處理控制器（1－999s），自動抽氣、濺射、關機後自動放氣。 |
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真空泵 |
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| 抽氣速率 | 133L/MIN |
| 極限真空 | 0.05pa |
| 噪音 | 56dB |
