描述
Ted Pella 108 Auto是(shì)一(yī / yì ／yí)款結構緊湊的(de)桌上(shàng)型鍍膜系統，特别适用于(yú)掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。
主要(yào / yāo)特性
一(yī / yì ／yí)、自動的(de)換氣與洩氣功能，可以(yǐ)得到(dào)一(yī / yì ／yí)緻的(de)膜厚，和(hé / huò)最佳的(de)導電噴鍍效果。
二、通過高效低壓直流磁控頭進行冷态精細的(de)噴鍍過程，避免樣品表面受損。
三、操作容易快捷，可全自動或手動進行噴鍍操作，控制的(de)參數包括自動放氣以(yǐ)及氩氣換氣控制。
四、在(zài)自動模式下，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程。可通過數字顯示器控制得到(dào)可重現的(de)噴鍍效果，
五、通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在(zài)達到(dào)設定膜厚時(shí)停止噴鍍過程。
六、數字化的(de)噴鍍電流控制不(bù)受樣品室内氩氣壓力影響，可得到(dào)一(yī / yì ／yí)緻的(de)鍍膜速率和(hé / huò)最佳的(de)鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶爲(wéi / wèi)标配），靶材更換快速方便。
技術參數
| 濺射系統 | |
| 樣品室大(dà)小 | 直徑120mm x 120mm 高 |
| 靶材 | 标配Au ,可選配 Au:Pd, Pt, Pt:Pd等;大(dà)小：直徑57mm x 0.1mm厚 |
| 樣品台 | 可以(yǐ)裝載12個(gè)SEM樣品座，高度可調範圍爲(wéi / wèi)65mm。可選配旋轉傾斜樣品台，
旋轉速度：0~120rpm可調，傾斜角度：0~90°可調。旋轉樣品台具有單獨腔體保護，可防污染。 |
| 濺射控制 | 微處理器控制，安全互鎖，可調，電流10、20、30、40mA，程序化數字控制 |
| 濺射頭 | 低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環繞暗區護罩 |
| 計量 | atm~1*10-3mba / 0~50mA |
| 厚度監控(選件) | 使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動終止濺射過程. |
| 控制方法 | 自動氣體換氣和(hé / huò)洩氣功能，自動處理排序，帶有“暫停”控制的(de)數字定時(shí)器（5－300s），自動放氣.整個(gè)操作亦可全手動控制。 |
| 真空系統 | |
| 真空泵 | 原裝進口2級直連式高速真空泵 |
| 抽氣速率 | 100L/MIN |
| 噪音 | 50dB |
| 極限真空 | ≤1 x 10-3 Torr |
