描述
PELCO® LatticeAx® 120基礎款晶圓切割機，可對樣品表面的(de)壓痕進行精細調整，然後通過精确控制的(de)三點劈裂，制作出(chū)高質量的(de)樣品截面。
LatticeAx采用了(le／liǎo)容易控制的(de)“解理切割”，使得切割過程更爲(wéi / wèi)精準，減少了(le／liǎo)切割誤差。它不(bù)需要(yào / yāo)劃線，是(shì)在(zài)晶圓表面用金剛石壓頭壓一(yī / yì ／yí)條長度小于(yú)1mm、寬度約10um的(de)淺壓痕，然後沿着壓痕進行解理，這(zhè)樣不(bù)僅可以(yǐ)最大(dà)程度地(dì / de)保存樣品的(de)原始結構，還可以(yǐ)避免晶圓在(zài)切割過程中産生的(de)不(bù)必要(yào / yāo)損傷。采用晶面解理方式，能夠得到(dào)更爲(wéi / wèi)理想的(de)切口，斷面更光滑，有利于(yú)後續的(de)觀察和(hé / huò)使用。
它是(shì)一(yī / yì ／yí)個(gè)緊湊的(de)、通用的(de)和(hé / huò)強大(dà)的(de)切割工具，可用于(yú)縮小尺寸和(hé / huò)對各種基材進行橫截面切割，包括矽、砷化镓、磷化铟、藍寶石和(hé / huò)玻璃。使用PELCO® LatticeAx®，您可以(yǐ)按原樣切割您的(de)樣品，無需額處理樣品，可對多種多樣的(de)尺寸、形狀、厚度、邊緣質量的(de)材料進行切割。
設備包括：LatticeAx真空台，用于(yú)在(zài)壓痕步驟中固定樣品；一(yī / yì ／yí)個(gè)精密、扁平的(de)線性平台，用于(yú)精确設置壓痕位置；一(yī / yì ／yí)個(gè)預先安裝的(de)金剛石壓頭；以(yǐ)及一(yī / yì ／yí)台帶有連接軟管的(de)小型真空泵。
應用場景：
用于(yú) SEM 分析的(de)特定部位橫截面
在(zài) FIB 或寬離子(zǐ)束之(zhī)前進行目标定位
縮小用于(yú)掃描電鏡的(de)樣品高度
使用非晶圓級平台進行切割，爲(wéi / wèi)其他(tā)分析工具創建統一(yī / yì ／yí)的(de)樣品
用于(yú)光子(zǐ)學分析的(de)垂直鏡像切割
