描述
Pelcotec™ CDMS 校準标樣是(shì)一(yī / yì ／yí)種獨特的(de)經濟實惠、功能齊全、可追溯的(de)校準标樣，可用于(yú)快速精準的(de)掃描電鏡(SEM)、場發射掃描電鏡(FESEM)、離子(zǐ)束刻蝕(FIB)、CD-SEM、LM和(hé / huò)AFM放大(dà)倍數校準。這(zhè)些标樣采用最新的(de)半導體和(hé / huò)微機電系統(MEMS)制造技術制成，可以(yǐ)覆蓋廣泛的(de)測量範圍。
Pelcotec™ CDMS 校準标樣有兩種特征尺寸範圍，分别是(shì) Pelcotec™ CDMS-1T 和(hé / huò) Pelcotec™ CDMS-0.1T ，都提供可追溯和(hé / huò)認證标樣，共有4個(gè)種：
Pelcotec™ CDMS-1T : 可追溯，特征尺寸範圍爲(wéi / wèi)2.0毫米到(dào)1微米，放大(dà)倍數範圍爲(wéi / wèi)10倍到(dào)20,000倍，非常适合台式掃描電鏡和(hé / huò)低到(dào)中等放大(dà)應用。
| 産品編号 | 描述 | 單位 |
|---|---|---|
| 682-1 | Pelcotec™ CDMS-1T ，2mm – 1µm，可追溯，沒有樣品台 | 個(gè) |
Pelcotec™ CDMS-1C : 經過NIST标樣認證的(de)特征尺寸範圍爲(wéi / wèi)2.0毫米到(dào)1微米，放大(dà)倍數範圍爲(wéi / wèi)10倍到(dào)20,000倍，非常适合台式掃描電鏡和(hé / huò)低到(dào)中等放大(dà)應用。
| 産品編号 | 描述 | 單位 |
|---|---|---|
| 686-1 | Pelcotec™ CDMS-1C ，2mm – 1µm，經過認證，沒有樣品台 | 個(gè) |
Pelcotec™ CDMS-0.1T : 可追溯，特征尺寸範圍爲(wéi / wèi)2.0毫米到(dào)100納米，放大(dà)倍數範圍高達10倍到(dào)200,000倍，适用于(yú)所有掃描電鏡和(hé / huò)大(dà)多數場發射掃描電鏡應用。
| 産品編号 | 描述 | 單位 |
|---|---|---|
| 683-01 | Pelcotec™ CDMS-0.1T ，2mm – 100nm，可追溯，沒有樣品台 | 個(gè) |
Pelcotec™ CDMS-0.1C : 經過NIST标樣認證的(de)特征尺寸範圍爲(wéi / wèi)2.0毫米到(dào)100納米，放大(dà)倍數範圍高達10倍到(dào)200,000倍，适用于(yú)所有掃描電鏡和(hé / huò)大(dà)多數場發射掃描電鏡應用。
| 産品編号 | 描述 | 單位 |
|---|---|---|
| 687-01 | Pelcotec™ CDMS-0.1T ，2mm – 100nm，經認證，沒有樣品台 | 個(gè) |
Pelcotec™ CDMS 标樣的(de)特征尺寸範圍爲(wéi / wèi)2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µm、5µm、2µm和(hé / huò)1µm（适用于(yú) Pelcotec™ CDMS-1T ISO 和(hé / huò) Pelcotec™ CDMS-1C ）。而(ér)Pelcotec™ CDMS-0.1T 和(hé / huò) 0.1C 的(de)特征尺寸範圍爲(wéi / wèi)2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µm、5µm、2µm、1µm、500nm、250nm和(hé / huò)100nm。
Pelcotec™ CDMS 标樣采用超平整的(de)矽襯底制成，采用精密的(de)50nm鉻沉積技術制造特征尺寸小于(yú)5µm的(de)部分，而(ér)采用50nm金/20nm鉻的(de)組合制造2µm到(dào)100nm的(de)特征尺寸。鉻和(hé / huò)金/鉻在(zài)矽基底上(shàng)提供了(le／liǎo)卓越的(de)SE和(hé / huò)BSE成像模式對比度，比刻蝕矽标樣更易于(yú)确定特征。由于(yú)矽襯底、鉻和(hé / huò)鉻/金特征都具有導電性，因此該校準标樣不(bù)存在(zài)充電問題。由于(yú)其堅固的(de)結構，CDMS标樣可使用等離子(zǐ)體清洗器進行清潔。
較小的(de)特征尺寸被嵌套在(zài)一(yī / yì ／yí)起，以(yǐ)便于(yú)導航和(hé / huò)快速校準。特征的(de)精度爲(wéi / wèi)0.3%或更高。标樣的(de)實際尺寸爲(wéi / wèi)2.5 x 2.5mm，厚度爲(wéi / wèi)525µm ±10µm，在(zài)矽表面上(shàng)沒有塗層。每個(gè)Pelcotec™ CDMS 校準标樣都有一(yī / yì ／yí)個(gè)獨特的(de)識别編号。
Pelcotec™ CDMS 校準标樣可供選擇不(bù)安裝或安裝在(zài)SEM樣品台A-R上(shàng)。對于(yú)AFM應用，Pelcotec™ CDMS 安裝在(zài)12mm的(de)AFM圓片上(shàng)，而(ér)對于(yú)LM應用，則安裝在(zài)25 x 75mm的(de)載玻片上(shàng)。也(yě)可以(yǐ)制備在(zài)自定義的(de)支架上(shàng)。
可選的(de)樣品座。
| Pelcotec™ CDMS-1 | Pelcotec™ CDMS-0.1 | |
| 基底：矽 | ✓ | ✓ |
| 基底尺寸：2.5×2.5mm | ✓ | ✓ |
| 基底厚度：525±10μm | ✓ | ✓ |
| 唯一(yī / yì ／yí)序列識别号 | ✓ | ✓ |
| 2mm、1mm、0.5mm、0.25mm 的(de)校準方塊 | ✓ | ✓ |
| 垂直于(yú) X 軸的(de)刻度線，間距爲(wéi / wèi) 10μm、5μm、2μm 和(hé / huò) 1μm | ✓ | ✓ |
| 僅高分辨率版本 – 垂直于(yú) X 軸的(de)附加刻度線以(yǐ) 500、250 和(hé / huò) 100 nm 節距标出(chū) | — | ✓ |
| 特征材料：50nm Cr (2mm – 5µm) | ✓ | ✓ |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（2μm 和(hé / huò) 1μm） | ✓ | ✓ |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（500、250 和(hé / huò) 100nm） | — | ✓ |
| 可在(zài)晶圓級追溯到(dào) NIST | T 版本 | T 版本 |
| CDMS 标樣直接獲得 NIST 标準認證 | C版本 | C版本 |
| 不(bù)含樣品台 | ✓ | ✓ |
| 可安裝在(zài) SEM樣品台上(shàng) | ✓ | ✓ |
| 精度優于(yú)0.3% | ✓ | ✓ |
