描述
這(zhè)款PELCO®凹坑儀是(shì)南灣科技D500i凹坑儀的(de)改進版，是(shì)一(yī / yì ／yí)種精密的(de)機電金相研磨儀器。它可不(bù)斷的(de)監視和(hé / huò)控制凹陷參數，并且在(zài)達到(dào)預先設置的(de)樣品厚度時(shí)準确地(dì / de)終止研磨。這(zhè)種機電一(yī / yì ／yí)體化技術的(de)實現了(le／liǎo)造坑過程的(de)自動化，使得造坑減薄的(de)過程變得可重複而(ér)可靠。
PELCO凹坑儀的(de)精确度爲(wéi / wèi)±1μm，造坑面積大(dà)，機械損傷小。可對多種不(bù)同的(de)材料進行造坑減薄，如矽、镓砷化合物、鍺、藍寶石、氧化物、碳化物、硼化物、矽化物、玻璃、多相材料、Ⅲ-Ⅴ半導體、鋁合金、陶瓷、碳和(hé / huò)碳複合物。
| Z偏移量 | 精确度： | 1 micron |
| 範圍： | 2000 microns | |
| Z終止精确度 | 工具1i / 3i： | <±1 micron |
| 工具2i / 4i： | <±2 microns | |
| 工具壓力 | 範圍： | 1 – 200 grams |
| 1 grams 步進 | ||
| 平衡 | 靈敏度： | 1 grams |
| 範圍： | 50 grams | |
| 工具速度 | 100 – 600 RPM | |
| 樣品壓盤轉速 | 10 RPM | |
| 工具傳動軸 | 0.5微米TIR | |
| 工具1i / 3i： | <±1 micron TIR | |
| 工具2i / 4i： | <±2 microns TIR | |
| 壓盤表面 | <0.5 micron TIR | |
| 外形尺寸 | 長度： | 68.6cm |
| 寬度： | 35.6cm | |
| 高度： | 33cm | |
| 重量： | 32kg | |
| 電源 | 通用交流電：85~264 VAC，47~63 Hz | |
| 産品編号 | 描述 |
| 84000 | PELCO ® TEM精密凹坑儀 |
| 83050 | PELCO ®視頻對齊工具 |
| 83031 | 用于(yú)TEM的(de)3mm樣品的(de)标準工具組 |
| 83032 | 可調節壓闆組 |
| 83001 | 藍寶石樣品座 |
