描述
Ted Pella 108 Auto SE是(shì)一(yī / yì ／yí)款結構緊湊的(de)桌上(shàng)型鍍膜系統，特别适用于(yú)掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。
主要(yào / yāo)特性
- 自動的(de)換氣與洩氣功能，可以(yǐ)得到(dào)一(yī / yì ／yí)緻的(de)膜厚，和(hé / huò)最佳的(de)導電噴鍍效果。
- 通過高效低壓直流磁控頭進行冷态精細的(de)噴鍍過程，避免樣品表面受損。
- 操作容易快捷，可全自動或手動進行噴鍍操作，控制的(de)參數包括自動放氣以(yǐ)及氩氣換氣控制。
- 在(zài)自動模式下，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程。可通過數字顯示器控制得到(dào)可重現的(de)噴鍍效果，
- 通過使用高分辨膜厚控制儀（選件）在(zài)達到(dào)設定膜厚時(shí)停止噴鍍過程。
- 數字化的(de)噴鍍電流控制不(bù)受樣品室内氩氣壓力影響，可得到(dào)一(yī / yì ／yí)緻的(de)鍍膜速率和(hé / huò)最佳的(de)鍍膜效果。
- 可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶爲(wéi / wèi)标配），靶材更換快速方便。
技術參數
| 濺射系統 | |
| 樣品室大(dà)小 | 直徑150mm x 165mm 高
高度可調：165mm-250mm |
| 靶材 | Au 靶爲(wéi / wèi)标配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （選件）;大(dà)小：直徑57mm x 0.1mm厚 |
| 樣品台 | 可以(yǐ)裝載12個(gè)SEM樣品座，高度可調範圍爲(wéi / wèi)60mm |
| 濺射控制 | 微處理器控制，安全互鎖，可調，最大(dà)電流40mA，程序化數字控制 |
| 濺射頭 | 低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環繞暗區護罩，具有濺射擋闆保護濺射頭 |
| 模拟計量 | 真空： Atm – 0.001mbar，電流：0-50mA |
| 厚度監控 (選件) |
使用高分辨厚度控制儀（選件）可自動終止濺射過程。 |
| 控制方法 | 自動氣體換氣和(hé / huò)洩氣功能，自動處理排序，帶有“暫停”控制的(de)數字定時(shí)器（0－300s），自動放氣 |
| 真空系統 | |
| 真空泵 | 2級直連式高速真空泵 |
| 抽氣速率 | 160L/MIN |
| 噪音 | ≤56dB |
| 極限真空 | 5 x 10-4mbar |
