描述
Ted Pella 108C是(shì)用于(yú)掃描電鏡能譜分析的(de)小型桌面型鍍碳儀。
主要(yào / yāo)特性
l 獨特的(de)受反饋控制的(de)碳棒蒸發系統可以(yǐ)在(zài)膜厚大(dà)約20nm左右進行多次蒸發，無須切削或調整碳棒形狀。
l 108C中使用的(de)高純碳棒可以(yǐ)在(zài)高倍條件下得到(dào)高質量的(de)鍍膜效果。該鍍膜系統結構緊湊，容易操作，抽真空周期短。選件MTM-10高分辨膜厚監控儀可以(yǐ)精确地(dì / de)得到(dào)所需的(de)碳膜厚度。
l 使用新型的(de)蒸發裝置：電流和(hé / huò)電壓通過磁控頭的(de)傳感線監控，蒸發源作爲(wéi / wèi)反饋回路中的(de)一(yī / yì ／yí)部分被控制。該蒸發裝置使常規的(de)碳棒具有優良的(de)穩定性和(hé / huò)重現性。功率消耗低，碳棒具有優異的(de)重新蒸鍍特性。蒸發源可以(yǐ)通過脈沖或連續的(de)方式操作。
l 可選擇手動或自動方式操作。
l 自動模式下，蒸發源按程序設定的(de)電壓和(hé / huò)時(shí)間進行噴鍍。手動模式下，獨特的(de)設計允許以(yǐ)脈沖或連續的(de)方式操作，并通過旋鈕控制輸出(chū)電壓。
l 可配備MTM-10高分辨膜厚監控儀（選件）。分辨率優于(yú)0.1nm。在(zài)15nm至25nm的(de)碳膜厚度範圍内，重現性可優于(yú)5％。
| 技術參數 | |
| 樣品室大(dà)小 | 直徑120 x 120mm 高 (4.75 x 4.75″) |
| 蒸發源 | Bradley型 (6.15mm rods),高強度不(bù)鏽鋼結構 |
| 蒸發控制 | 基于(yú)微處理器的(de)反饋回路控制，能夠進行遠程電流/電壓感應，基于(yú)真空水平變量的(de)安全互鎖功能，最大(dà)電流180A，提供過流保護 |
| 樣品台 | 可裝置12個(gè)樣品座，高度在(zài)30mm範圍内可調 |
| 模拟計量 | 真空: atmos – 0.001mb; 電流: 0-200A |
| 厚度監控 | MTM-10 高分辨膜厚監控儀(選件) |
| 控制方法 | 自動蒸發控制，使用程序設定的(de)電壓和(hé / huò)時(shí)間
以(yǐ)脈沖或連續方式進行完全手動控制 數字定時(shí)器（0－10s） 數字電壓設置（0.1 to 6.0V） |
| 真空系統 | |
| 真空泵 | 2級直連式高速真空泵 |
| 抽氣速率 | 100L/MIN |
| 極限真空 | |
| 噪音 | 50dB |
