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PELCO®LatticeAx®420 晶圓劃片裂片切割機

PELCO® LatticeAx® 420(原LatticeGear™) 是(shì)LatticeAx 225的(de)升級版,LatticeAx系列中的(de)性能和(hé / huò)精度最好的(de)晶圓劃片裂片設備,用于(yú)晶圓的(de)精密切割。

分類: ,    品牌: Ted Pella

描述

LatticeAx 420是(shì)一(yī / yì /yí)款高效且精确的(de)晶圓切割設備。作爲(wéi / wèi)LatticeAx系列的(de)龍頭産品,其集成了(le/liǎo)PELCO® LatticeAx®基座和(hé / huò)先進的(de)視覺系統。配置粗細焦距控制的(de)聚焦裝置,具有4μm光學解析度的(de)單筒、共焦、可變焦鏡頭(放大(dà)倍率0.58-7x),配色CCD攝像機。、實時(shí)圖像捕捉展示軟件以(yǐ)及X-Y移動台功能一(yī / yì /yí)應俱全。特别适用于(yú)快速又精确、能處理多樣化樣品的(de)切割需求。

LatticeAx 優化了(le/liǎo)手動劃片的(de)流程,最根本的(de)區别體現在(zài)它使用高倍數字顯微鏡和(hé / huò)精密定位旋鈕來(lái)定位目标,精度更高且減少了(le/liǎo)用戶差異所導緻的(de)誤差,同時(shí)增加了(le/liǎo)可重複性,大(dà)大(dà)提升了(le/liǎo)工作效率。

LatticeAx采用了(le/liǎo)容易控制的(de)“解理切割”,使得切割過程更爲(wéi / wèi)精準,減少了(le/liǎo)切割誤差。它不(bù)需要(yào / yāo)劃線,是(shì)在(zài)晶圓表面用金剛石壓頭壓一(yī / yì /yí)條長度小于(yú)1mm、寬度約10um的(de)淺壓痕,然後沿着壓痕進行解理,這(zhè)樣不(bù)僅可以(yǐ)最大(dà)程度地(dì / de)保存樣品的(de)原始結構,還可以(yǐ)避免晶圓在(zài)切割過程中産生的(de)不(bù)必要(yào / yāo)損傷。采用晶面解理方式,能夠得到(dào)更爲(wéi / wèi)理想的(de)切口,斷面更光滑,有利于(yú)後續的(de)觀察和(hé / huò)使用。

LatticeAx 420具備以(yǐ)下核心優勢:
高精度:目标位置可進行精準調校(±10μm),5µm步進的(de)壓痕位置控制,特别适用于(yú)需要(yào / yāo)高精度切割的(de)場合。
可重複:通過光學顯微鏡和(hé / huò)精密定位旋鈕實現高精度的(de)重複性過程,降低用戶對操作經驗的(de)依賴性。
快速易學:通過簡單的(de)學習,操作人(rén)員就(jiù)能在(zài)5分鍾内完成樣品切割。
操作方便:設計符合人(rén)體工程學,操作簡便直觀,占地(dì / de)面積小,對操作環境要(yào / yāo)求較低。
廣泛應用:配備金剛石壓頭,可切割各種材質和(hé / huò)樣品尺寸,應對複雜多樣的(de)切割需求。

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